GB/T 20307-2006 纳米级长度的扫描电镜测量方法通则
作者:标准资料网 时间:2024-05-15 11:22:26 浏览:9948
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基本信息
| 标准名称： | 纳米级长度的扫描电镜测量方法通则 |
| 英文名称： | General rules for nanometer-scale lengthmeasurement by SEM |
| 中标分类： | 仪器、仪表 >> 光学仪器 >> 电子光学与其他物理光学仪器 |
| ICS分类： | |
| 发布部门： | 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 中国国家标准化管理委员会 |
| 发布日期： | 2006-07-19 |
| 实施日期： | 2007-02-01 |
| 首发日期： | 2006-07-19 |
| 作废日期： | 1900-01-01 |
| 主管部门： | 国家标准化管理委员会 |
| 提出单位： | 全国微束分析标准化技术委员会 |
| 归口单位： | 全国微束分析标准化技术委员会 |
| 起草单位： | 中国科学院地质与地球物理研究所、同济大学，中国科学院化学所，中国地质科学院矿产资源研究所，上海理工大学 |
| 起草人： | 张训彪、曾荣树、廖宗廷、卢德生、刘芬、李戎、周剑雄、邓保庆等 |
| 出版社： | 中国标准出版社 |
| 出版日期： | 2007-02-01 |
| 页数： | 17页数：17, 字数：26千字 |
| 计划单号： | 20030760-T-469 |
适用范围
本标准规定了用扫描电镜测量纳米级长度的基本原则。适用于测量10nm-500nm的点或线的间距。
前言
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所属分类： 仪器 仪表 光学仪器 电子光学与其他物理光学仪器
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